孔板流量計(jì)附件的安裝、使用和維修保養(yǎng)，氣體質(zhì)量流量控制器和氣體質(zhì)量流量計(jì)的應(yīng)用范圍 
MFC和MFM可廣泛地應(yīng)用于石油化工、半導(dǎo)體和集成電路、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科學(xué)研究和生產(chǎn)中，其典型應(yīng)用有：電子工藝設(shè)備，如氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。
 1、產(chǎn)品安裝前應(yīng)徹底清除管道污物、焊渣等。
　　 2、各類氣、電動(dòng)調(diào)節(jié)閥應(yīng)正立垂直安裝。流向按閥體箭頭所示。須斜裝時(shí)除小口徑外,如自重較大或有震動(dòng)，應(yīng)加支承，入口配管長最好為10-20DN，如有可能，出口配管為3-5DN直管段。氣動(dòng)高溫高壓疏水閥立式和臥式均可安裝。介質(zhì)為液體的自力式調(diào)節(jié)閥一般均倒立安裝，嚴(yán)禁逆流向安裝。
　　 3、設(shè)置旁通管道、遇有故障或維修時(shí)可用旁路控制。
　　 4、手操時(shí)應(yīng)控說明書和手操標(biāo)牌指示，活塞式執(zhí)行機(jī)構(gòu)帶有竄氣閥時(shí)應(yīng)打開竄氣閥,恢復(fù)自蒸汽流量計(jì)動(dòng)時(shí)應(yīng)將切換手柄置“自動(dòng)”位置，有竄氣閥的應(yīng)予關(guān)閉。液壓手操機(jī)構(gòu)的操作請(qǐng)見說明書。電動(dòng)閥手操時(shí)應(yīng)將手柄拉出。